
來源:廣東國評 發布時間: 2025-02-27
2025年2月27日,根據評價委托方提供的評價申請材料,廣東國評科技成果評價有限公司組織專家對成果【 高性能薄膜型熱流傳感器的研發及應用 】進行了線上評價,專家組審閱了委托方提供的材料,聽取了成果完成單位的報告并進行了質詢,經討論形成評價結論如下:
1.【創新性】該項目 系統研究了基于薄膜橫向熱電效應的熱流傳感器相關響應物理機制,首次提出了一種帶有自校準功能的薄膜型熱流傳感器及其設計和制備方法;以高質量4H-SiC、YBa2Cu3O7、Ca3Co4O9薄膜作為熱流傳感器的敏感薄膜,利用薄膜橫向熱電器件單一材料面內和面間的塞貝克系數各向異性,進行傳感器微結構優化設計,結合激光刻蝕微加工、金屬電極層微加工以及耐強沖刷焊接等工藝技術,開發了TTE-HS超快響應熱流傳感器、TTE-HT高溫熱流傳感器、MEMS應力敏感芯體等一系列基于薄膜橫向熱電效應的熱流傳感器及其制備技術,并形成了規模化應用 。項目獲授權中國發明專利7件、美國發明專利1件,發表論文8篇(均被SCI收錄)。評價為 提升性創新和集成應用性創新 。
2.【先進性】該成果 形成的系列熱流傳感器產品,傳感器芯片最小尺寸為3×1mm,有效確保了熱流的點測量,且可兼容瞬態和穩態熱流測試;利用層狀薄膜材料顯著的熱電各向異性,在單一材料內便可以制備傳感器的敏感單元,具備量產性;研制的超快響應熱流傳感器最快響應時間僅為0.25μs,靈敏度高達[284μV/(W/cm2)],不確定性為5%,優于國外同類產品;研制的耐高溫熱流傳感器可在同一器件中同時滿足耐高溫(1000℃)和較短的響應時間(40μs) 。評價為 具有明顯的先進性 。
3.【成熟度】根據研究與應用證明材料,該成果技術成熟度評價為 形成產業化應用推廣 。
4.【應用效果】該成果 在多個單位實施應用,產品性能質量得到客戶的高度認可 。評價為 應用效果顯著 。
5.【應用潛力】該成果 已在航空航天、彈藥毀傷評估等領域得到廣泛應用,并可進一步推廣至新能源汽車動力電池熱失控監測預警、火災監測與消防,以及建筑、工業、能源、科研、生物醫療、環境監測等領域 。評價為 應用潛力較大 。
6.【經濟與社會效益】該成果 形成的系列熱流傳感器產品,產生了一定的經濟效益,打破了國外在高端(耐高溫)熱流傳感器領域的封鎖,并進一步降低了制造難度和工藝成本,對于推動我國航空航天等高精尖產業的高質量發展、促進下游相關產業轉型升級、提升綜合國力等方面具有重要意義 。評價為 經濟與社會效益良好 。
綜上,該科技成果綜合技術水平評價為 達到國際先進水平。
1111111111111
1111111111111
1111111111111
1111111111111
1111111111111
1111111111111
1111111111111
1111111111111
1111111111111
1111111111111